精密加工：尺寸形状精度um级,表面粗糙度0.x微米
超精密加工:是指加工的尺寸、形状精度达到亚微米级,加工表面粗糙度Ra
达到纳米级的加工技术的总称目前超精密加工技术在某些应用领域已经延伸到纳米尺度范围,其加工精度已经接近纳米级,表面粗糙度Ra已经达到10– 1 nm 级(原子直径为0.1～0.2 nm,根据理论分析,加工切除层的最小极限尺寸为原子直径,如果一层一层地切除原子,被加工表面的尺寸波动范围在 0.1～0.2 nm之间,具有这种特征的表面称为“超光滑表面”)。并且正向其终极目标—原子级加工精度 ( 超精密加工的极限精度)逼进，其他的都是普通加工。
